光氧净化器主要利用高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S，VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使或无机高分子恶臭化合物的分子链在紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧（活性氧）和OH自由基，因游离氧和所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），众所周知臭氧对物具有的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有的效果。
根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体， 与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化的效果。通过特定波长光线照射，纳米光催化剂，生成电子空穴对，使光催化剂与周围的H2O分子O2分子发生作用，结合生成氢氧自由基OH，通过氢氧自由基层层锁住空气中各种成分，分解分子结构构造，生长和病毒的活性能力，从而达到、空气净化、除臭、、污染的目的。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用 UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过拜见管道排出室外。利用UV光束裂解工业废气中的分子键，破坏核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应， 达到净化及杀灭的目的。从净化空气效率考虑，我们选择了C波段紫外线和臭氧结合高电晕电流装置，采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对气体进行，其中C波段紫外线主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷、树脂等气体，使物转变为无机物。
